Společnost King's Laser představila na LPC 2026 sklo TGV prostřednictvím optimalizace leptání

Sep 11, 2026 Zanechat vzkaz

Shenzhen, Čína - 10. září 2026 - King's Laser vystoupil na 20. národní konferenci o laserovém zpracování (LPC 2026) v Shenzhenu, aby se podělil o nejnovější pokrok svého programu TGV (Through{5}}Glass Via) laserového-leptání děr. Ředitel procesu Ray Ma přednesl hlavní řeč v rámci vyhrazené sekce"TGV Via Technology umožňující pokročilé balení,"podrobně popisuje, jak mohou lasery s pikosekundovým a femtosekundovým ultrakrátkým-pulsem v kombinaci s mokrým-chemickým leptáním (LIDE) poskytnout skleněné prokovy s vysokým-poměrem{3}}poměru stran na křemenných substrátech pro další-generaci polovodičových obalů.

 

Kings Laser presenting TGV glass via etching research at the LPC 2026 conference in Shenzhen

 

Řeč byla ukotvena v jasném průmyslovém bodu bolesti: protože 2,5D a 3D pokročilé balení tlačí na jemnější rozteč, vyšší hustotu I/O a napjatější tepelné rozpočty, konvenční mechanické vrtání a ablace CO₂ laserem se potýkají s kombinováním úkosu otvoru, kvality povrchu a propustnosti na skleněných vložkách. King's Laser umisťuje svou ultrarychlou platformu pro laserové mikroobrábění - již nasazenou v oblasti depanelizace desek plošných spojů, keramického vrtání a výroby mikrofluidních čipů - jako řešení na klíč pro krok TGV.

 

LPC 2026: Křižovatka pro fotoniku a pokročilé balení

 

LPC 2026, který pořádá výbor pro laserové zpracování Čínské optické společnosti a CIOE, se soustředil na tři strategická vlákna:

 

  1. "Laser + AI posilující precizní výrobu"- uzavírá smyčku mezi optickými zdroji, řízením pohybu a inline procesní inteligencí.
  2. "Přesná laserová výroba pro kapalinová-chlazená datová centra"-, kde se skleněné substráty TGV objevují jako klíčový stavební blok pro vysokofrekvenční, nízko{2}}ztrátové studené desky a vložky.
  3. „TGV Via Technology umožňující pokročilé balení“- stěžejní technická trať místa, která zahrnuje laserové zdroje, nástroje a procesní chemii pro skleněné vložky.

 

Zasedání spolu-předsedali prof. Zhang Qingmao (South China Normal University), prof. Tang Xiahui (Huazhong University of Science and Technology) a Wang Jiangang (vicegenerální ředitel HGTECH Laser a vedoucí HGTECH's Precision Business Group). V tomto kontextu prezentace Ray Ma zarámovala roli King's Laser jako procesního-partnera pro zařízení spíše než čistého dodavatele nástrojů -, což je rozdíl, který nabývá na důležitosti, protože zákazníci s pokročilými-baleními požadují společně-vyvinuté receptury, nejen stroje.

 

Kings Laser process director Ray Ma delivers a keynote on TGV via formation for advanced semiconductor packaging at LPC 2026 in Shenzhen

 

Uvnitř prezentace TGV

 

Ray Ma provedl publikum dvěma provázanými výzkumnými proudy, které společně definují kompletní procesní okno TGV:

 

  1. Laserový-mechanismus modifikace- jak počet pulzů, numerická apertura (NA), energie pulzu a hloubka ohniska přetvářejí upravenou oblast uvnitř křemenného skla. Vyladění těchto parametrů umožňuje King's Laser přesně lokalizovat modifikaci, což umožňuje selektivní mokré leptání po proudu.
  2. Mokré-kontrola chemického leptání- jak leptací chemie (kyselá vs. zásaditá), koncentrace, teplota a fyzikální-pomoc v poli (ultrazvuková, megazvuková, vakuová-asistovaná infiltrace) formují finále prostřednictvím morfologie. Spolu-optimalizace modifikační zóny a leptací lázně je to, co poskytuje přijatelné zkosení a drsnost bočních stěn pro pokročilé balení.

 

Pro oborové publikum, které je již obeznámeno s naším přehledem přesného laserového obrábění, jde o stejnou inženýrskou disciplínu aplikovanou na náročnější substrát a užší procesní okno. Přednáška se také zmínila o našem širším portfoliu mikro/nanotechnologií -, které je vidět na našem webuKing's Laser micro/nano přesná řada zařízení-, abychom zdůraznili, že TGV je jedna aplikace jediné koherentní platformy, nikoli jednorázový-nástroj.

 

Úprava vyvolaná laserem-: Kontrola podpovrchové stopy

 

První polovina přednášky byla zaměřena na to, co se dějeuvnitřsklo během laserového průchodu. King's Laser provedl rozmítání parametrů na čtyřech proměnných:

 

  • Počet a překrytí pulzůpro řízení kumulativní hustoty energie a geometrie upravené kolony.
  • Numerická apertura (NA)pro vyvážení ohniskové hloubky a velikosti bodu - vyšší NA zostří modifikaci za cenu pracovní vzdálenosti.
  • Pulzní energiezůstat nad prahem modifikace bez přechodu do ablačního režimu, který by poškodil vstupní čelo.
  • Ohnisková hloubkaumístit upravený voxel do přesné z{0}}roviny, kterou má následný leptání sledovat.

 

Pro inženýry, kteří si již vybírají mezi pikosekundovými a femtosekundovými zdroji na podobných úlohách, naše dřívější práce naFemtosekundové vs. nanosekundové laserové mikro-vrtánía tím více zaměřené-na aplikaceFemtosekundový laser mikro-vrtání molybdenuvysvětlit širší pravidla návrhu. Rozšíření TGV je v podstatě stejná logika aplikovaná na průhledný, křehký substrát -, kde i malé změny mezi-k-pulsu mohou kolísat prostřednictvím kvality o řády.

 

To je také důvod, proč společnost King's Laser nadále investuje do knihoven receptů pro související mikro-prostředky. NášFemtosekundové laserové obrábění pro vzduchové-omezovací otvory ložisekprogram například provozuje tisíce průchodů denně na výrobních linkách a sdílí stejnou-řídicí páteř procesu s pilotním TGV.

 

Mokré-chemické leptání: kvalita tvarování kuželů a bočních stěn

 

Druhá polovina se přesunula od fotoniky k chemii -, kde ve skutečnosti pochází většina selhání procesu TGV. Údaje Ray Ma ukázaly, že:

 

  • Výběr leptadla(kyselé systémy na bázi HF- vs. alkalické systémy na bázi KOH-) řídí selektivitu leptání mezi modifikovaným a nemodifikovaným sklem. Špatná volba může být buď pod-leptání (upravený sloupec zůstane na místě) nebo nad{5}}leptání (zaokrouhlení vstupu přes a rozšíření zúžení).
  • Koncentrace a teplotařídit rychlost leptání a drsnost boční stěny; oba musí být vyladěny proti profilu modifikace od kroku jedna, nikoli nezávisle.
  • Fyzická-pomoc v terénu- primárně ultrazvukové a megasonické míchání - zlepšuje výměnu leptadel uvnitř prokovů s vysokým-poměrem{3}}poměrů stran a snižuje efekt „úzkého hrdla“, který způsobuje zúžené otvory nebo otvory ve tvaru přesýpacích hodin-.

 

Praktické zjištění: Výtěžnost TGV je společný{0}návrhový problém. Laserový průchod definujekdelept může jít; etch definujejakcesta končí. King's Laser dodává obě poloviny jako sehraný pár, což je jiný komerční model než prodej laserového nástroje a chemické lázně samostatně. Stejná kombinovaná logika-úprav-a-etch se objevuje v našemVýhody femtosekundových laserů v mikro{0}}obrábění otvorů pro přesné ventilyprogram, kde je rozhodujícím faktorem mezi kvalitním a vyřazeným dílem kvalita ventilových{0}}desek.

 

Pro kupující, kteří porovnávají dodavatele TGV, je třeba si položit tuto otázku: může váš dodavatel ko-optimalizovat laserový průchod a chemii leptání, nebo vám dávají dva kusy a očekávají, že je váš procesní tým integruje?

 

Proč je TGV důležité pro pokročilé balení

 

Skleněné interposery již nejsou výzkumnou kuriozitou. Jsou na plánu pro vysoko-pásmovou paměť, integraci chipletů a studené-deskové substráty uvnitř chladicích smyček AI-serveru-. Důvody spočívají ve třech měřitelných výhodách oproti organickým a silikonovým vložkám:

 

  1. Dielektrický výkon- sklo nabízí nižší ztrátovou tangentu než organické substráty při vysoké frekvenci, což se přímo promítá do čistší integrity signálu při přenosových rychlostech více-GHz.
  2. Shoda CTE- sklo CTE lze vyladit na křemík, čímž se sníží termomechanické namáhání pro-prokovy a zlepší se spolehlivost-úrovně balení.
  3. Rovinnost a drsnost povrchu- sklo lze vyleštit na jedno-číslici-drsnost nanometrů, která je kritická pro litografii RDL s jemnou-roztečí.

 

Háček je v tom, že na žádné z těchto výhod nezáleží, pokud jsou průchody samotné zúžené, hrubé nebo nekonzistentní. Kvalita procesu TGV - nikoli chemie skla - je rozhodujícím faktorem. To je přesně tam, kdeAplikace technologie femtosekundového laseru při výrobě mikrofluidních čipůplaybook se překrývá s balením: v mikrofluidních čipech už tentýž laserový-pak{1}}řetězec leptání dozrál do opakovatelného a škálovatelného procesu. TGV je další zastávka na stejném oblouku.

 

Pro kupující mimo svět -obalu čipů je sklo- prostřednictvím technologie také viditelné v sousedních aplikacích: solární perovskitové rýhování (viz naše stránka Perovskitové solární zařízení pro laserové rýhování), polovodičové keramické substráty (vizPolovodičové keramické vrtání: mikro-otvory, hluboké otvory a leštění) a dokonce i příprava povrchu-pouzdra baterie (vizLaserové texturování povrchu pouzder baterií před UV nátěrem) - všechny jsou umístěny na stejné ultrarychlé-laserové platformě.

 

Pohled dopředu

 

LPC 2026 uzavřela společnost King's Laser, která znovu potvrdila dlouhodobý-odhodlání k vývoji procesů TGV se třemi plánovanými pracovními liniemi:

 

  • Vyšší poměr-stran{1}} prostřednictvím hromádek- posouváme za současné limity pilotního projektu směrem k mnoha-set{2}}mikrometrovým hloubkám potřebným pro 3D skleněné interposery.
  • Inline metrologie a asistované řízení procesů-AI- uzavření smyčky mezi optickým-monitorováním emisí, senzory{2}}chemické lázně a výběrem receptur.
  • Spolu{0}}vývoj se zákazníky z oblasti obalů- přechod od prodejních nástrojů k prodeji kvalifikovaných prostřednictvím-formačních receptur.

 

Pro potenciální zákazníky, kteří hodnotí ultrarychlá laserová zařízení pro mikro-prostřednictvím, skleněným vkladačem nebo pokročilým{1}}balicím programem, je dalším krokem procesní-audit okna podle vašeho konkrétního skleněného substrátu, prostřednictvím geometrie a následných cílů spolehlivosti. Obraťte se na inženýrský tým King's Laser s datovým listem substrátu a cílem pomocí rozměrů a my provedeme ukázkové-hodnocení procesu na naší pilotní lince.

 

O LPC 2026

20. národní konference o laserovém zpracování (LPC 2026) se konala 10. září 2026 v Shenzhenu, kterou společně organizoval Výbor pro laserové zpracování Čínské optické společnosti a Čínská mezinárodní optoelektronická výstava (CIOE). Konference se zaměřila na konvergenci laserové technologie s umělou inteligencí, pokročilé balení polovodičů a infrastrukturu kapalného-chlazení dat-centra.

O King's Laser

Wuhan King's Laser Co., Ltd. dodává ultrarychlé laserové mikroobráběcí systémy, vláknové laserové svařovací platformy, pulzní laserové čisticí stroje a CO₂/vláknové/UV laserové značení průmyslovým zákazníkům ve více než 60 zemích. Portfolio společnosti pro přesné mikro/nano laserové zpracování zahrnuje depanelizaci PCB/FPC, polovodičové keramické vrtání, obrábění femtosekundových mikro-děr, perovskitové rýhování a formování TGV.